第148章 溅射机里的“土法秘方” 上
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研究所低温实验室的“晶格暖流”之美，在量产设备冰冷的现实面前，仿佛隔着一层磨砂玻璃，清晰又模糊。
中试车间里，赵铁柱看着那台老旧磁控溅射镀膜机，眼神像在看一个倔强又力不从心的老伙计。
薄膜的“涟漪”不解决，“默灵”机械臂的关节散热模块量产就是一句空谈。
与此同时，传真机嗡嗡作响，一场精心设计的“技术探戈”正在上演。
设备进口的路被“普朗克陷阱”暂时堵死，国产代工无门，研究所的新设备排期遥遥无期。
赵铁柱把心一横：“妈的，靠山山倒，靠人人跑，还得靠自己！这老伙计，老子就不信榨不出点油水！” 他召集了“默灵”设备维护组的骨干，还有两个从父亲机械厂借调来的老师傅，围着那台锈迹斑斑的“老爷机”开始了会诊。
目标：**不追求全面升级，只针对当前最致命的“厚度不均”和“卷绕张力波动”问题，进行低成本、见效快的“微创手术式”改造！** 陈默亲自坐镇，提供了关键思路：“厚度不均的核心是**靶材溅射速率不稳定**和**基片行走速度波动**。
附着力不足，卷绕时的**张力控制不均**是主因之一。
我们能不能先从这两个‘点’上突破？” 一场充满“土法智慧”的攻坚战打响： 1.**驯服“溅射野马”：** ***问题：**老机器的溅射电源功率波动大，导致钛镍合金靶材溅射速率忽高忽低。
***“土法”：**赵铁柱带人拆开电源柜，发现关键滤波电容老化严重。
**没有原厂备件？**找！翻遍了市里几个大型电子废品站和旧货市场，终于找到几个参数接近、品相尚可的**军用级拆机电容**（体积大、皮实耐用）。
老师傅们小心翼翼地更换，并额外并联了几个小电容组，**手工搭建了一个简易的“功率缓冲池”**。
虽然丑，但实测电源纹波降低了近40%！ ***“秘方”：**陈默根据材料特性，重新设定了更保守、但更稳定的**溅射功率区间**，牺牲一点理论上的最高沉积速率，换取稳定性。
同时，**手工打磨靶材表面**（确保平整），并在真空室内**加装简易的挡板**，优化等离子体分布均匀性。
2.**稳住“行走脚步”：** ***问题：**基片卷绕系统的伺服电机老旧，编码器精度差，行走速度时快时慢。
***“土法”：**无法更换核心电机和编码器。
赵铁柱的团队在**卷绕轴上加装了高精度的机械飞轮**（利用惯性稳定速度），并**改造了传动齿轮组**（增大减速比，降低速度波动对膜厚的影响）。
更重要的是，**彻底清洗并重新润滑所有导轨和轴承**，减少阻力突变。
***“秘方”：**陈默设计了一个**“速度-功率”联动补偿算法**（写在纸上，由周斌编程烧录进一个简陋的单片机控制器里）。
当检测到速度微小波动时（通过一个额外加装的简易光电传感器），自动微调溅射功率进行补偿！这个“外挂”系统，成了这台老爷机的“智能小脑”。
3.**锁住“薄膜之根”（张力控制）：** ***问题：**收放卷的张力控制全靠几个老旧的机械摩擦片，张力不稳导致薄膜在卷绕过程中受力不均，容易起皱脱粘。
***“土法”：**拆掉不可靠的摩擦片系统！赵铁柱从一台报废的印刷机上拆下了一套**气动刹车系统**（气缸+刹车鼓）。
没有精密的气压伺服阀？就用**手动精密调压阀+储气罐**来提供相对稳定的气压！虽然响应慢点，但胜在稳定可调。
中试车间里，赵铁柱看着那台老旧磁控溅射镀膜机，眼神像在看一个倔强又力不从心的老伙计。
薄膜的“涟漪”不解决，“默灵”机械臂的关节散热模块量产就是一句空谈。
与此同时，传真机嗡嗡作响，一场精心设计的“技术探戈”正在上演。
设备进口的路被“普朗克陷阱”暂时堵死，国产代工无门，研究所的新设备排期遥遥无期。
赵铁柱把心一横：“妈的，靠山山倒，靠人人跑，还得靠自己！这老伙计，老子就不信榨不出点油水！” 他召集了“默灵”设备维护组的骨干，还有两个从父亲机械厂借调来的老师傅，围着那台锈迹斑斑的“老爷机”开始了会诊。
目标：**不追求全面升级，只针对当前最致命的“厚度不均”和“卷绕张力波动”问题，进行低成本、见效快的“微创手术式”改造！** 陈默亲自坐镇，提供了关键思路：“厚度不均的核心是**靶材溅射速率不稳定**和**基片行走速度波动**。
附着力不足，卷绕时的**张力控制不均**是主因之一。
我们能不能先从这两个‘点’上突破？” 一场充满“土法智慧”的攻坚战打响： 1.**驯服“溅射野马”：** ***问题：**老机器的溅射电源功率波动大，导致钛镍合金靶材溅射速率忽高忽低。
***“土法”：**赵铁柱带人拆开电源柜，发现关键滤波电容老化严重。
**没有原厂备件？**找！翻遍了市里几个大型电子废品站和旧货市场，终于找到几个参数接近、品相尚可的**军用级拆机电容**（体积大、皮实耐用）。
老师傅们小心翼翼地更换，并额外并联了几个小电容组，**手工搭建了一个简易的“功率缓冲池”**。
虽然丑，但实测电源纹波降低了近40%！ ***“秘方”：**陈默根据材料特性，重新设定了更保守、但更稳定的**溅射功率区间**，牺牲一点理论上的最高沉积速率，换取稳定性。
同时，**手工打磨靶材表面**（确保平整），并在真空室内**加装简易的挡板**，优化等离子体分布均匀性。
2.**稳住“行走脚步”：** ***问题：**基片卷绕系统的伺服电机老旧，编码器精度差，行走速度时快时慢。
***“土法”：**无法更换核心电机和编码器。
赵铁柱的团队在**卷绕轴上加装了高精度的机械飞轮**（利用惯性稳定速度），并**改造了传动齿轮组**（增大减速比，降低速度波动对膜厚的影响）。
更重要的是，**彻底清洗并重新润滑所有导轨和轴承**，减少阻力突变。
***“秘方”：**陈默设计了一个**“速度-功率”联动补偿算法**（写在纸上，由周斌编程烧录进一个简陋的单片机控制器里）。
当检测到速度微小波动时（通过一个额外加装的简易光电传感器），自动微调溅射功率进行补偿！这个“外挂”系统，成了这台老爷机的“智能小脑”。
3.**锁住“薄膜之根”（张力控制）：** ***问题：**收放卷的张力控制全靠几个老旧的机械摩擦片，张力不稳导致薄膜在卷绕过程中受力不均，容易起皱脱粘。
***“土法”：**拆掉不可靠的摩擦片系统！赵铁柱从一台报废的印刷机上拆下了一套**气动刹车系统**（气缸+刹车鼓）。
没有精密的气压伺服阀？就用**手动精密调压阀+储气罐**来提供相对稳定的气压！虽然响应慢点，但胜在稳定可调。